diff --git a/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/agent-avatars b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/agent-avatars new file mode 120000 index 00000000..9d148fb7 --- /dev/null +++ b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/agent-avatars @@ -0,0 +1 @@ +../../../exhibition-demo/public/data/订单班文档资料/化工/agent头像 \ No newline at end of file diff --git a/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/css/styles.css b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/css/styles.css new file mode 100644 index 00000000..7fd15eb0 --- /dev/null +++ b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/css/styles.css @@ -0,0 +1,961 @@ +/* 半导体AI综合检测项目 - 化工订单班科技感设计系统 */ + +/* ========== 设计变量 ========== */ +:root { + /* 专业紫蓝主题 - 半导体科技风格 */ + --bg-dark: #f5f3ff; /* 浅紫背景 */ + --bg-semi-dark: rgba(245, 243, 255, 0.95); /* 半透明浅紫 */ + --bg-overlay: rgba(255, 255, 255, 0.85); /* 白色遮罩 */ + --bg-card: rgba(255, 255, 255, 0.9); /* 卡片背景 */ + --primary-dark: #4c1d95; /* 主色深紫 */ + --primary-purple: #7c3aed; /* 主色紫 - 半导体专业 */ + --accent-violet: #8b5cf6; /* 紫罗兰强调 - 科技主题 */ + --accent-violet-light: #a78bfa; /* 浅紫罗兰 */ + --text-light: #1a1a1a; /* 深色文字 */ + --text-gray: #666666; /* 灰色文字 */ + --border-light: rgba(124, 58, 237, 0.2); /* 紫色边框 */ + --hover-bg: rgba(139, 92, 246, 0.15); /* 悬停背景 */ + --active-bg: rgba(124, 58, 237, 0.2); /* 激活背景 */ + + /* 间距系统 - 针对大屏幕优化 */ + --spacing-xs: 0.75rem; /* 12px */ + --spacing-sm: 1.25rem; /* 20px */ + --spacing-md: 2rem; /* 32px */ + --spacing-lg: 3rem; /* 48px */ + --spacing-xl: 4rem; /* 64px */ + --spacing-2xl: 6rem; /* 96px */ + --spacing-3xl: 8rem; /* 128px */ + + /* 字体系统 */ + --font-primary: 'Inter', 'Noto Sans SC', -apple-system, BlinkMacSystemFont, sans-serif; + --font-display: 'Inter', sans-serif; + + /* 字体大小 - 针对大屏幕优化 */ + --text-xs: 0.875rem; /* 14px */ + --text-sm: 1rem; /* 16px */ + --text-base: 1.125rem; /* 18px */ + --text-lg: 1.375rem; /* 22px */ + --text-xl: 1.625rem; /* 26px */ + --text-2xl: 2rem; /* 32px */ + --text-3xl: 2.5rem; /* 40px */ + --text-4xl: 3rem; /* 48px */ + --text-5xl: 4rem; /* 64px */ + + /* 字重 */ + --font-light: 300; + --font-normal: 400; + --font-medium: 500; + --font-semibold: 600; + --font-bold: 700; + + /* 圆角 */ + --radius-sm: 0.375rem; + --radius-md: 0.5rem; + --radius-lg: 0.75rem; + --radius-xl: 1rem; + --radius-2xl: 1.5rem; + --radius-full: 9999px; + + /* 阴影 - 轻盈专业主题 */ + --shadow-sm: 0 1px 2px rgba(0,0,0,0.05); + --shadow-md: 0 2px 4px rgba(0,0,0,0.08); + --shadow-lg: 0 4px 8px rgba(0,0,0,0.1); + --shadow-xl: 0 8px 16px rgba(0,0,0,0.12); + --shadow-violet: 0 2px 8px rgba(139, 92, 246, 0.15); + + /* 过渡 */ + --transition-fast: 150ms ease; + --transition-base: 250ms ease; + --transition-slow: 350ms ease; + + /* 布局 */ + --container-max: 1600px; /* 增加最大宽度适配1920屏幕 */ +} + +/* ========== 深色主题 - 深邃紫蓝配色 ========== */ +body.dark-theme { + --bg-dark: #0f0a1f; /* 深邃紫黑背景 */ + --bg-semi-dark: rgba(15, 10, 31, 0.95); /* 深紫半透明 */ + --bg-overlay: rgba(20, 15, 35, 0.85); /* 深紫遮罩层 */ + --bg-card: rgba(25, 20, 45, 0.9); /* 深紫卡片背景 */ + --primary-dark: #4c1d95; /* 中度深紫 */ + --primary-purple: #a78bfa; /* 明亮紫 */ + --accent-violet: #8b5cf6; /* 深紫罗兰 */ + --accent-violet-light: #c4b5fd; /* 亮紫罗兰 */ + --text-light: #e9e5f5; /* 浅色文字 */ + --text-gray: #a8a29e; /* 灰色文字 */ + --border-light: rgba(167, 139, 250, 0.25); /* 紫色边框 */ + --hover-bg: rgba(139, 92, 246, 0.15); /* 悬停背景 */ + --active-bg: rgba(167, 139, 250, 0.2); /* 激活背景 */ + --shadow-sm: 0 1px 2px rgba(0,0,0,0.4); + --shadow-md: 0 2px 4px rgba(0,0,0,0.5); + --shadow-lg: 0 4px 8px rgba(0,0,0,0.6); + --shadow-xl: 0 8px 16px rgba(0,0,0,0.7); + --shadow-violet: 0 2px 8px rgba(139, 92, 246, 0.25); +} + +/* ========== 重置样式 ========== */ +* { + margin: 0; + padding: 0; + box-sizing: border-box; +} + +html { + scroll-behavior: smooth; + -webkit-font-smoothing: antialiased; + -moz-osx-font-smoothing: grayscale; +} + +body { + font-family: var(--font-primary); + font-size: var(--text-base); + line-height: 1.6; + color: var(--text-light); + background-color: var(--bg-dark); + overflow-x: hidden; +} + +/* ========== Hero 区域 - 全屏图片背景 ========== */ +.hero { + min-height: 100vh; + display: flex; + align-items: center; + justify-content: center; + background: + linear-gradient(135deg, rgba(245, 243, 255, 0.9) 0%, rgba(237, 233, 254, 0.95) 100%), + url('../images/检测背景主图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; + position: relative; + overflow: hidden; +} + +/* 深色主题下的Hero渐变 */ +body.dark-theme .hero { + background: + linear-gradient(135deg, rgba(15, 10, 31, 0.9) 0%, rgba(20, 15, 35, 0.8) 100%), + url('../images/检测背景主图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +.hero::before { + content: ''; + position: absolute; + width: 100%; + height: 100%; + background-image: + radial-gradient(circle at 20% 50%, rgba(139, 92, 246, 0.1) 0%, transparent 50%), + radial-gradient(circle at 80% 80%, rgba(124, 58, 237, 0.05) 0%, transparent 50%); + pointer-events: none; + animation: glow 8s ease-in-out infinite; +} + +@keyframes glow { + 0%, 100% { opacity: 1; } + 50% { opacity: 0.6; } +} + +.hero-content { + text-align: center; + color: var(--text-light); + z-index: 1; + position: relative; + padding: var(--spacing-xl); + max-width: 900px; +} + +.hero-badge { + display: inline-block; + padding: var(--spacing-md) var(--spacing-xl); + background: rgba(139, 92, 246, 0.15); + backdrop-filter: blur(20px); + -webkit-backdrop-filter: blur(20px); + border-radius: var(--radius-full); + font-size: var(--text-lg); + font-weight: var(--font-semibold); + letter-spacing: 0.1em; + margin-bottom: var(--spacing-xl); + border: 3px solid var(--accent-violet); + box-shadow: var(--shadow-violet); + text-transform: uppercase; + transition: all var(--transition-base); +} + +.hero-badge:hover { + background: rgba(139, 92, 246, 0.25); + transform: translateY(-2px); +} + +.hero-title { + font-size: clamp(3.5rem, 10vw, 6.5rem); + font-weight: var(--font-bold); + margin-bottom: var(--spacing-lg); + letter-spacing: -0.02em; + line-height: 1.1; + color: var(--accent-violet-light); + text-shadow: 0 6px 30px rgba(0,0,0,0.8), 0 0 60px rgba(139, 92, 246, 0.4); +} + +.hero-subtitle { + font-size: clamp(1.5rem, 4vw, 2.5rem); + font-weight: var(--font-light); + opacity: 0.95; + margin-bottom: var(--spacing-xl); + color: var(--text-light); +} + +.hero-description { + font-size: var(--text-xl); + opacity: 0.85; + max-width: 800px; + margin: 0 auto; + line-height: 1.8; +} + +/* ========== 导航 - 深色玻璃态 ========== */ +.nav { + position: sticky; + top: 0; + z-index: 100; + background: var(--bg-semi-dark); + backdrop-filter: blur(20px); + -webkit-backdrop-filter: blur(20px); + border-bottom: 1px solid var(--border-light); + padding: var(--spacing-md) 0; + box-shadow: var(--shadow-md); +} + +.nav-container { + display: flex; + justify-content: center; + gap: var(--spacing-sm); + flex-wrap: wrap; + padding: 0 var(--spacing-md); +} + +.nav-item { + padding: var(--spacing-sm) var(--spacing-lg); + background: var(--bg-overlay); + backdrop-filter: blur(10px); + border: 1px solid var(--border-light); + border-radius: var(--radius-lg); + cursor: pointer; + transition: all var(--transition-base); + font-weight: var(--font-medium); + display: flex; + align-items: center; + gap: var(--spacing-xs); + color: var(--text-gray); +} + +.nav-item i { + width: 20px; + height: 20px; + stroke-width: 2; +} + +.nav-item span { + font-size: var(--text-base); +} + +.nav-item:hover { + background: var(--hover-bg); + color: var(--accent-violet); + transform: translateY(-2px); + box-shadow: var(--shadow-violet); +} + +.nav-item.active { + background: var(--active-bg); + color: var(--primary-purple); + border-color: var(--primary-purple); + box-shadow: var(--shadow-violet); +} + +/* ========== 内容区块 - 图片背景 ========== */ +.section { + padding: var(--spacing-2xl) 0; + background: var(--bg-dark); + position: relative; +} + +/* 浅色图片背景 - 每个区块使用不同图片 */ +.section:nth-child(1) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(245, 243, 255, 0.9) 0%, rgba(237, 233, 254, 1) 100%), + url('../images/硅晶圆检测项目.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +.section:nth-child(2) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(245, 243, 255, 0.9) 0%, rgba(237, 233, 254, 1) 100%), + url('../images/光学镜头检测硅晶圆示意图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +.section:nth-child(3) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(245, 243, 255, 0.9) 0%, rgba(237, 233, 254, 1) 100%), + url('../images/外观热力图(颗粒划痕腐蚀).jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +.section:nth-child(4) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(245, 243, 255, 0.9) 0%, rgba(237, 233, 254, 1) 100%), + url('../images/检测结果主图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +/* 通用奇偶区块（当超过4个section时） */ +.section:nth-child(n+5):nth-child(odd) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(245, 243, 255, 0.9) 0%, rgba(237, 233, 254, 1) 100%), + url('../images/厚度分布图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +.section:nth-child(n+5):nth-child(even) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(245, 243, 255, 0.9) 0%, rgba(237, 233, 254, 1) 100%), + url('../images/电学对比图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +/* 深色主题下的区块背景 - 每个区块使用对应图片 */ +body.dark-theme .section:nth-child(1) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(15, 10, 31, 0.92) 0%, rgba(20, 15, 35, 0.88) 100%), + url('../images/硅晶圆检测项目.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +body.dark-theme .section:nth-child(2) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(20, 15, 35, 0.90) 0%, rgba(15, 10, 31, 0.88) 100%), + url('../images/光学镜头检测硅晶圆示意图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +body.dark-theme .section:nth-child(3) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(15, 10, 31, 0.92) 0%, rgba(20, 15, 35, 0.88) 100%), + url('../images/外观热力图(颗粒划痕腐蚀).jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +body.dark-theme .section:nth-child(4) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(20, 15, 35, 0.90) 0%, rgba(15, 10, 31, 0.88) 100%), + url('../images/检测结果主图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +/* 通用奇偶区块（当超过4个section时） */ +body.dark-theme .section:nth-child(n+5):nth-child(odd) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(15, 10, 31, 0.92) 0%, rgba(20, 15, 35, 0.88) 100%), + url('../images/厚度分布图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +body.dark-theme .section:nth-child(n+5):nth-child(even) { + background-image: + linear-gradient(to bottom, rgba(20, 15, 35, 0.90) 0%, rgba(15, 10, 31, 0.88) 100%), + url('../images/电学对比图.jpg'); + background-size: cover; + background-position: center; + background-attachment: fixed; +} + +/* 深色主题下的特定元素调整 */ +body.dark-theme .stat-item { + background: rgba(25, 20, 45, 0.8); + backdrop-filter: blur(5px); +} + +body.dark-theme .stat-item:hover { + background: rgba(167, 139, 250, 0.15); + border-color: var(--primary-purple); +} + +body.dark-theme .stat-value { + color: var(--accent-violet-light); 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+} + +.agent-name { + font-size: var(--text-lg); + color: var(--primary-purple); + text-transform: uppercase; + letter-spacing: 0.1em; + margin-bottom: var(--spacing-sm); + font-weight: var(--font-semibold); +} + +.section-title { + font-size: var(--text-4xl); + font-weight: var(--font-bold); + color: var(--text-light); + letter-spacing: -0.01em; + text-shadow: none; + position: relative; + padding-bottom: var(--spacing-sm); +} + +.section-title::after { + content: ''; + position: absolute; + bottom: 0; + left: 0; + width: 180px; + height: 4px; + background: linear-gradient(90deg, var(--accent-violet), transparent); + border-radius: 2px; +} + +.section-content { + max-width: 100%; + margin: 0 auto; +} + +.expert-intro { + background: var(--bg-card); + backdrop-filter: blur(15px); + -webkit-backdrop-filter: blur(15px); + border-radius: var(--radius-xl); + padding: var(--spacing-lg); + margin-bottom: var(--spacing-xl); + border: 2px solid var(--border-light); + box-shadow: var(--shadow-md); +} + +.expert-intro h3 { + font-size: var(--text-2xl); + color: var(--primary-purple); + margin-bottom: var(--spacing-lg); + display: flex; + align-items: center; + gap: var(--spacing-md); +} + +.expert-intro p { + color: var(--text-gray); + line-height: 1.8; + font-size: var(--text-lg); +} + +/* ========== 网格布局 - 针对大屏幕优化,更大气的布局 ========== */ +.grid { + display: grid; + gap: var(--spacing-2xl); +} + +.grid-2 { + grid-template-columns: repeat(2, 1fr); +} + +.grid-3 { + grid-template-columns: repeat(2, 1fr); +} + +.grid-4 { + grid-template-columns: repeat(3, 1fr); +} + +/* ========== 卡片 - 图片优先布局 ========== */ +.card { + background: var(--bg-card); + backdrop-filter: blur(10px); + -webkit-backdrop-filter: blur(10px); + border-radius: var(--radius-2xl); + overflow: hidden; + border: 2px solid var(--border-light); + transition: all var(--transition-base); + box-shadow: var(--shadow-md); + padding: 0; + display: flex; + flex-direction: column; +} + +.card:hover { + transform: translateY(-8px); + box-shadow: var(--shadow-xl), var(--shadow-violet); + border-color: var(--accent-violet); +} + +.card-header { + padding: var(--spacing-xl); + background: var(--bg-semi-dark); + border-bottom: 2px solid var(--border-light); + order: 2; +} + +.card-title { + font-size: var(--text-2xl); + font-weight: var(--font-semibold); + color: var(--primary-purple); + margin-bottom: var(--spacing-sm); +} + +.card-body { + padding: var(--spacing-xl); + order: 3; + flex: 1; +} + +/* ========== 图片容器 - 突出展示 - 超大气布局 ========== */ +.image-container { + width: 100%; + aspect-ratio: 3/2; + overflow: hidden; + border-radius: 0; + margin-bottom: 0; + background: rgba(0,0,0,0.5); + position: relative; + box-shadow: none; + border: none; + transition: all var(--transition-base); + order: 1; + flex-shrink: 0; +} + +.image-container img { + width: 100%; + height: 100%; + object-fit: cover; + transition: transform var(--transition-slow); + filter: brightness(0.9); +} + +.image-container:hover img { + transform: scale(1.1); 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} +.mt-md { margin-top: var(--spacing-md); } +.mt-lg { margin-top: var(--spacing-lg); } +.mt-xl { margin-top: var(--spacing-xl); } + +.mb-sm { margin-bottom: var(--spacing-sm); } +.mb-md { margin-bottom: var(--spacing-md); } +.mb-lg { margin-bottom: var(--spacing-lg); } +.mb-xl { margin-bottom: var(--spacing-xl); } + +.hidden { display: none; } +.block { display: block; } +.flex { display: flex; } +.grid { display: grid; } + +.gap-sm { gap: var(--spacing-sm); } +.gap-md { gap: var(--spacing-md); } +.gap-lg { gap: var(--spacing-lg); } + +/* ========== 图片加载状态 ========== */ +img { + transition: opacity var(--transition-base); +} + +img.loaded { + opacity: 1; +} + +img.error { + opacity: 0.5; + filter: grayscale(1); +} + +/* ========== SVG图标尺寸统一管理 ========== */ +.hero-description i[data-lucide] { + width: 24px !important; + height: 24px !important; + display: inline-block !important; + vertical-align: middle !important; + margin-right: 8px !important; +} + +.agent-name i[data-lucide] { + width: 20px !important; + height: 20px !important; + display: inline-block !important; + vertical-align: middle !important; + margin-right: 8px !important; +} + +.expert-intro h3 i[data-lucide] { + width: 40px !important; + height: 40px !important; + display: inline-block !important; + vertical-align: middle !important; + margin-right: 10px !important; +} + +.feature-list li i[data-lucide] { + width: 18px !important; + height: 18px !important; + display: inline-block !important; + vertical-align: middle !important; + margin-right: 8px !important; +} + +.nav-item i[data-lucide] { + width: 20px !important; + height: 20px !important; + display: block !important; + margin: 0 auto 4px !important; +} + +/* ========== 主题切换按钮 ========== */ +.theme-toggle { + position: fixed; + top: 24px; + right: 24px; + z-index: 1000; +} + +.theme-toggle-btn { + position: relative; + width: 64px; + height: 32px; + background: var(--bg-card); + border: 2px solid var(--border-light); + border-radius: var(--radius-full); + cursor: pointer; + padding: 0; + display: flex; + align-items: center; + justify-content: space-between; + padding: 0 6px; + transition: all var(--transition-base); + box-shadow: var(--shadow-md); +} + +.theme-toggle-btn:hover { + transform: scale(1.05); + box-shadow: var(--shadow-lg); +} + +.theme-toggle-btn:active { + transform: scale(0.95); +} + +.theme-icon { + width: 18px !important; + height: 18px !important; + transition: all var(--transition-base); + color: var(--text-gray); +} + +body:not(.dark-theme) .theme-icon-light { + color: var(--accent-violet); + transform: scale(1.2); +} + +body:not(.dark-theme) .theme-icon-dark { + opacity: 0.5; +} + +body.dark-theme .theme-icon-dark { + color: var(--primary-purple); + transform: scale(1.2); +} + +body.dark-theme .theme-icon-light { + opacity: 0.5; +} diff --git a/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/images b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/images new file mode 120000 index 00000000..98bf57dd --- /dev/null +++ b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/images @@ -0,0 +1 @@ +../../../exhibition-demo/public/data/订单班文档资料/化工/notion文稿/image \ No newline at end of file diff --git a/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/index.html b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/index.html new file mode 100644 index 00000000..a34c4d16 --- /dev/null +++ b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/index.html @@ -0,0 +1,641 @@ + + + + + + 半导体AI综合检测项目 - 化工订单班 + + + + + +
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🔬 化工订单班
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半导体AI综合检测项目

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300mm硅晶圆 + SiO₂薄膜智能质检

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+ AI驱动的全流程自动化检测
+ 4大专业Agent协同作业
+ 95%合格率 + 智能质量预警 +

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+ 项目经理 +
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+ 项目经理 +
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项目概述与检测背景

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检测背景

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本项目对单批次 300mm 硅晶圆 + 表面SiO₂薄膜开展一次性质量检测。整套流程由AI引擎主导:负责数据清洗、主判定与自动出具结构化报告;检测员只在低可信或越界时介入复核,最大化保障速度与一致性。

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+ 检测背景 +
AI驱动的智能检测系统
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检测目的

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  • 外观:识别颗粒、划痕、腐蚀缺陷
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  • 薄膜:核对厚度均值与均匀性
    • +
  • 电学:快速评估方块电阻Rs
    • +
  • 成分:XPS抽检确认O/Si比
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检测信息

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  • XX半导体第三方实验室
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  • 2024年10月
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  • AI-QC-202410-001
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  • 300mm P型硅晶圆 20片
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项目信息
产品300mm P型硅晶圆(表面SiO₂薄膜)
批次/数量同批随机抽样20片
目标规格SiO₂ 15.0±0.3nm; Rs 60±1.2Ω/□
环境ISO 5洁净室,温度22±1℃,湿度45±5%
AI设置可信度阈值:≥0.90合格,0.80-0.90观察,<0.80待复核
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+ 质量工程师 +
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+ 质量工程师 +
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检测范围与判定标准

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检测对象与项目

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样品类型:300mm硅晶圆+表面SiO₂薄膜。覆盖项目:外观(颗粒/划痕/腐蚀)、薄膜(厚度与均匀性)、电学(方块电阻Rs)、成分(XPS抽检)。

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+ 检测项目 +
硅晶圆检测项目全景
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项目指标判定阈值/范围统计口径结论规则
外观颗粒(≥0.3μm)≤35颗/片每片最大值、总数超过即不合格
外观划痕>50μm计缺陷最大长度45-50μm观察
外观腐蚀坑深度>10nm不合格最大深度8-10nm观察;≤8nm合格
薄膜厚度均值15.0±0.3nm9点均值超出窗口即不合格
薄膜均匀性(3σ)≤±3%9点3σ>3%不合格;2.5-3%观察
电学Rs均值60±1.2Ω/□9点均值超出窗口不合格
成分O/Si比2.00±0.05抽检值超出为异常;贴边观察
成分金属污染<1×10¹⁰atoms/cm²抽检值超阈即异常
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判定优先级
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外观 > 薄膜 > 电学 > 成分
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AI参与方式
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自动阈值比对
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人工复核触发
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临界/低可信
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+ AI系统工程师 +
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+ AI系统工程师 +
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检测流程与AI方法

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流程总览

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AI数据采集 → AI清洗数据 → AI主判定 → AI对标阈值 → 必要时人工复核 → 自动生成报告。单片目标用时≤6分钟,批次(20片)约1.5小时完成核心判定。

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+ 检测流程 +
光学镜头检测硅晶圆示意
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+ 外观热力图 +
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外观热力图

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整片俯视图+网格热区,颗粒/划痕/腐蚀坑分类显示,颜色分级标注严重度。

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+ 厚度分布图 +
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厚度分布图

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9点热力格,均值、3σ、偏移率统计,边缘敏感性自动标注。

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+ 电学对比图 +
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电学对比图

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AI预测vs实测散点图,误差统计,置信区间可视化展示。

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+ 成分抽检 +
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成分抽检卡片

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O/Si比值、金属污染状态,峰位截图,采样位置追溯。

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AI判定规则

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≥0.90且达标 → 合格

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自动出报告并归档,无需人工处理。

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0.80-0.90 → 观察

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自动生成备注与关注点,坐标放入下批复测清单。

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<0.80或超限 → 待复核

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自动通知检测员复核,复核前不建议放行。

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单片用时
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0分钟
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批次用时(20片)
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0小时
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AI可信度
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0%
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异常复核
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3-5分钟/片
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+ 数据分析师 +
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+ 数据分析师 +
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检测结果与数据分析

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批次摘要

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本批共20片晶圆,全部完成外观、厚度、Rs三项检测;随机抽取3片补做XPS成分核验。完成度100%,无漏测、无中断记录。总体判定:合格19片、观察1片、不合格0片。

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+ 检测结果 +
检测结果主图
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判定片数占比主要原因/特征处置
合格1995%指标均在阈值内;外观颗粒小、分散直接归档
观察15%Rs接近上限,离散正常;外观、厚度均达标下批优先复测
不合格00%——
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指标结果阈值判定备注
颗粒(≥0.3μm,颗/片)24≤35合格主要集中在3象限外环
划痕(最大长度,μm)48>50计缺陷合格单条、细长型,非功能区
腐蚀坑深度(nm)8.6≤10合格无环形腐蚀迹象
SiO₂厚度均值(nm)15.0715.0±0.3合格偏移率+0.47%
厚度均匀性3σ(%)±2.6≤±3.0合格边缘敏感:否
Rs均值(Ω/□)61.160±1.2观察+1.1(略高),离散2.9Ω/□
XPS O/Si原子比2.022.00±0.05合格3片抽检均正常
金属污染(atoms/cm²)<7×10⁹<1×10¹⁰合格未见可疑峰
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结论与建议

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总体判定

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最终结论:合格。本批20片中,仅1片进入观察带(Rs均值略高但未越界),其余指标均在阈值内。AI主判定平均可信度0.94,异常触发的人工复核与AI结果一致。

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放行建议:本批可整体放行。对"观察片"在生产流转单上加注"下批优先复测"标识。

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快速优化建议

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若后续批次仍出现Rs略高,可尝试:

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  • 沉积时间下调1-2%
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  • 腔温上调约2℃
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  • 下批优先复测边缘3点+中心1点
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批次合格率
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0%
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AI可信度
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0.94
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观察片数
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1片
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不合格片数
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0片
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+ 项目成果总结 +

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📋 检测覆盖

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  • 外观全片扫描
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  • 9点厚度测量
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  • 9点电阻测试
    • +
  • XPS成分抽检
    • +
  • 4类可视化图表
    • +
  • 结构化AI报告
    • +
  • 原始数据追溯
    • +
  • 全程质量控制
    • +
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🎯 核心指标

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  • 合格率95%
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  • AI可信度0.94
    • +
  • 单片用时≤6分钟
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  • 批次用时1.5小时
    • +
  • 颗粒≤35颗/片
    • +
  • 划痕<50μm
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  • 厚度15.0±0.3nm
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  • Rs 60±1.2Ω/□
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⚙️ AI能力

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  • 自动数据清洗
    • +
  • 智能主判定
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  • 阈值自动比对
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  • 可信度评估
    • +
  • 趋势预测
    • +
  • 异常自动预警
    • +
  • 报告一键生成
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  • 持续学习优化
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🔬 半导体AI综合检测项目圆满完成!

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© 2024 化工订单班 | AI驱动的智能质检解决方案

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+ + + + diff --git a/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/js/main.js b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/js/main.js new file mode 100644 index 00000000..c7c9d2e0 --- /dev/null +++ b/web_frontend/web_result/order-classes/chemical/js/main.js @@ -0,0 +1,266 @@ +// 半导体AI综合检测项目 - 主要JavaScript逻辑 + +// 页面初始化 +document.addEventListener('DOMContentLoaded', function() { + console.log('🔬 化工订单班半导体检测页面加载完成'); + + // 初始化Lucide图标 + if (typeof lucide !== 'undefined') { + lucide.createIcons(); + } + + // 初始化组件 + initNavigation(); + initAnimations(); + initLazyLoading(); + initSmoothScroll(); + updateStats(); + initThemeToggle(); +}); + +// 导航功能 +function initNavigation() { + const navItems = document.querySelectorAll('.nav-item'); + const sections = document.querySelectorAll('.section'); + + // 点击导航项滚动到对应区块 + navItems.forEach((item, index) => { + item.addEventListener('click', () => { + // 移除所有活跃状态 + navItems.forEach(nav => nav.classList.remove('active')); + // 添加当前活跃状态 + item.classList.add('active'); + + // 滚动到对应区块 + if (sections[index]) { + const targetSection = sections[index]; + const offsetTop = targetSection.offsetTop - 100; + + window.scrollTo({ + top: offsetTop, + behavior: 'smooth' + }); + } + }); + }); + + // 滚动时更新导航活跃状态 + window.addEventListener('scroll', () => { + let current = ''; + sections.forEach((section, index) => { + const sectionTop = section.offsetTop - 150; + if (scrollY >= sectionTop) { + current = index; + } + }); + + navItems.forEach((item, index) => { + item.classList.remove('active'); + if (index === current) { + item.classList.add('active'); + } + }); + }); +} + +// 动画初始化 +function initAnimations() { + // 使用 Intersection Observer 实现滚动动画 + const observerOptions = { + root: null, + rootMargin: '0px', + threshold: 0.1 + }; + + const observer = new IntersectionObserver((entries) => { + entries.forEach(entry => { + if (entry.isIntersecting) { + entry.target.classList.add('fade-in'); + observer.unobserve(entry.target); + } + }); + }, observerOptions); + + // 观察所有需要动画的元素 + const animatedElements = document.querySelectorAll('.card, .expert-intro'); + animatedElements.forEach(el => { + el.style.opacity = '0'; + observer.observe(el); + }); +} + +// 图片懒加载 +function initLazyLoading() { + const images = document.querySelectorAll('img[data-src]'); + + const imageObserver = new IntersectionObserver((entries, observer) => { + entries.forEach(entry => { + if (entry.isIntersecting) { + const img = entry.target; + const src = img.getAttribute('data-src'); + + // 创建新图片对象来预加载 + const tempImg = new Image(); + tempImg.onload = function() { + img.src = src; + img.classList.add('loaded'); + }; + tempImg.onerror = function() { + // 如果图片加载失败，使用紫色主题占位图 + img.src = 'data:image/svg+xml,%3Csvg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" width="400" height="300" viewBox="0 0 400 300"%3E%3Crect width="400" height="300" fill="%23f5f3ff"/%3E%3Ctext x="50%25" y="50%25" dominant-baseline="middle" text-anchor="middle" font-family="system-ui" font-size="20" fill="%237c3aed"%3E图片加载中%3C/text%3E%3C/svg%3E'; + img.classList.add('error'); + }; + tempImg.src = src; + + img.removeAttribute('data-src'); + observer.unobserve(img); + } + }); + }); + + images.forEach(img => { + imageObserver.observe(img); + }); +} + +// 平滑滚动 +function initSmoothScroll() { + // 为所有锚点链接添加平滑滚动 + document.querySelectorAll('a[href^="#"]').forEach(anchor => { + anchor.addEventListener('click', function (e) { + e.preventDefault(); + const targetId = this.getAttribute('href'); + if (targetId === '#') return; + + const target = document.querySelector(targetId); + if (target) { + target.scrollIntoView({ + behavior: 'smooth', + block: 'start' + }); + } + }); + }); +} + +// 更新统计数据 - 半导体检测数据 +function updateStats() { + // 动画数字增长效果 - 半导体AI检测相关数据 + const stats = [ + { selector: '.single-time', value: 6, suffix: '分钟' }, + { selector: '.batch-time', value: 1.5, suffix: '小时' }, + { selector: '.ai-confidence', value: 94, suffix: '%' }, + { selector: '.pass-rate', value: 95, suffix: '%' } + ]; + + stats.forEach(stat => { + const element = document.querySelector(stat.selector); + if (element) { + animateValue(element, 0, stat.value, 2000, stat.suffix); + } + }); +} + +// 数字动画函数 +function animateValue(element, start, end, duration, suffix = '') { + const startTime = performance.now(); + + function update(currentTime) { + const elapsed = currentTime - startTime; + const progress = Math.min(elapsed / duration, 1); + + // 使用缓动函数 + const easeOutQuad = progress * (2 - progress); + let current; + + // 处理小数值（如1.5） + if (end < 10 && end % 1 !== 0) { + current = (start + (end - start) * easeOutQuad).toFixed(1); + } else { + current = Math.floor(start + (end - start) * easeOutQuad); + } + + element.textContent = current + suffix; + + if (progress < 1) { + requestAnimationFrame(update); + } + } + + requestAnimationFrame(update); +} + +// 错误处理 +window.addEventListener('error', function(e) { + if (e.target.tagName === 'IMG') { + console.warn('图片加载失败:', e.target.src); + e.target.src = 'data:image/svg+xml,%3Csvg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" width="400" height="300" viewBox="0 0 400 300"%3E%3Crect width="400" height="300" fill="%23f5f3ff"/%3E%3Ctext x="50%25" y="50%25" dominant-baseline="middle" text-anchor="middle" font-family="system-ui" font-size="20" fill="%237c3aed"%3E图片暂时无法显示%3C/text%3E%3C/svg%3E'; + e.target.classList.add('error'); + } +}, true); + +// 移动端优化 +if ('ontouchstart' in window) { + document.body.classList.add('touch-device'); + + // 移动端点击优化 + let touchStartTime; + document.addEventListener('touchstart', () => { + touchStartTime = Date.now(); + }); + + document.addEventListener('touchend', (e) => { + const touchEndTime = Date.now(); + if (touchEndTime - touchStartTime < 200) { + // 快速点击 + e.preventDefault(); + } + }); +} + +// 性能监控 +if (window.performance && window.performance.timing) { + window.addEventListener('load', () => { + setTimeout(() => { + const timing = window.performance.timing; + const loadTime = timing.loadEventEnd - timing.navigationStart; + console.log(`页面加载时间: ${loadTime}ms`); + + // 如果加载时间过长，提示用户 + if (loadTime > 3000) { + console.warn('页面加载时间较长，可能需要优化'); + } + }, 0); + }); +} + +// 主题切换功能 +function initThemeToggle() { + const themeToggleBtn = document.getElementById('themeToggleBtn'); + + // 从localStorage读取用户的主题偏好 + const savedTheme = localStorage.getItem('theme'); + // 如果没有保存的偏好，默认使用暗色主题 + if (savedTheme === 'dark' || savedTheme === null) { + document.body.classList.add('dark-theme'); + } + + // 点击切换主题 + if (themeToggleBtn) { + themeToggleBtn.addEventListener('click', () => { + document.body.classList.toggle('dark-theme'); + + // 保存用户偏好 + if (document.body.classList.contains('dark-theme')) { + localStorage.setItem('theme', 'dark'); + } else { + localStorage.setItem('theme', 'light'); + } + + // 重新初始化图标以确保正确显示 + if (typeof lucide !== 'undefined') { + lucide.createIcons(); + } + }); + } +}